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多晶硅石英坩埚的使用注意

点击次数:   更新时间:21/06/24 11:24:06     来源:hukanlife.net.cn关闭分    享:
  半导体级高纯多晶硅石英坩埚是拉制大直径单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只坩埚。单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,对坩埚的要求十分苛刻。一般国际上对多晶硅石英坩埚的要求:材质需要是高纯度半导体级;耐高温性强;坩埚的尺寸大;精度高;保温性能好;节约能源;产品质量一致性好;稳定性高等特点。多晶硅石英坩埚在使用时应注意两点:
  1、多晶硅石英坩埚可在1700度以下灼烧,但灼烧温度高于1100度石英会变成不透明,因此熔融温度不应超过800度。
  2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
  以上介绍的就是关于多晶硅石英坩埚的使用注意事项,大家可以简单的了解下,后期如果想了解更多可以继续关注我们。

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